Инновационное решение по утилизации жидких отходов резки кремниевых пластин

Проблематика переработки жидких отходов резки кремниевых пластин

Утилизация жидких отходов полупроводниковой промышленности образуемых в результате резки кремниевых пластин

Кремний является одним из наиболее важных элементов, используемых в полупроводниковой промышленности в настоящее время. Из-за своих химических, электрических и механических свойств кремний является идеальным материалом для изготовления подложки для последующего выращивания на нем других материалов.

• Интенсивный рост полупроводниковой промышленности требует не только углубленного изучения свойств кремния и процессов его обработки, но и методологий переработки попутно образуемых токсичных отходов.
• Лазерная резка кремниевых пластин сопровождается образованием значительного объема жидких отходов, проблема очистки которых не может быть решена в рамках обработки промышленных сточных вод.
• Специалистами химико-технологического отдела компании Эко-Спектрум проведен расчет состава отходов по результатам изучения производственных процессов заказчика.

Инженерные задачи

Компания Эко-Спектрум, развивая свой технологический потенциал, разработала комплексный подход к решению проблемы утилизации жидких отходов полупроводниковой промышленности образуемых в результате резки кремниевых пластин.

• Апробация системы подачи и автоматической регулируемой подачи ЖО в технологическую установку;
• Подборка технологического, в том числе температурного, режима эксплуатации экспериментальной установки HURIKAN С;
• Исследование массы и составы полученного зольного остатка;
• Инструментальные замеры и исследования объема и качества отходящих дымовых газов для подбора эффективной системы газоочистного оборудования.

Результаты работы по продукту

Оптимальным и универсальным решением проблем утилизации жидких отходов полупроводниковой промышленности образуемых в результате резки кремниевых пластин с различным компонентным составом явилось адаптация циклонных инсинераторов типа HURIKAN 3000C в рабочие процессы промышленного предприятия.

• Произведен расчетный анализ отхода, осуществлены лабораторные испытания с целью определения требований к ГОУ и перечню реагентов, способных обеспечить качество выброса в пределах технологических показателей.

• В ходе испытаний были сняты показании по энргозатратам, расходу топлива, электричество, реагентам и т.д. Были определены рабочие режимы, определена скорость сжигания, определен % зольности, качество золы и класс ее опасности, рассчитана себестоимость термического обезвреживания отходов.
• Проработаны несколько типов теплообменных устройств для рекуперации тепла